对准曝光机

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产品描述

概述特点:手动操作、接触式对准曝光机。依照不同需求以及成本考量・有准直仪型・多面镜型・整合(积算器)型三种曝光光源。有可对应5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各类机种。Mask Holder・载台的更换作业简单易行,可在1分钟内完成,适合用于研究开发。 对准显微镜的对物镜可对应高对准精度或厚膜等用途,并且有4×、10×、20×三种。
共通规格:
1、接触方法:软性接触/硬性接触 (部分选配)
2、对准精度:使用对物镜20×时<1.2μm(M-1S除外)
3、对准显微镜:双视野显微镜 对物镜间隔18~60mm(M-1S除外)
4、曝光波长:多频率(h.i.g线)
规格参数:
1、基板尺寸MAX4 inch
2、Mask尺寸MAX 5×5 inch
3、UV灯箱多面鏡型
4、照度>14mW/cm2
4、度均一性<±4.0%
5、硬性接触有
6、对准点间隔测长功能有
7、UV灯累计光量计>有
8、防震台配件
9、外形尺寸(mm)>1000W×1300H×800D

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