干法蚀刻设备

所属分类:

关键词:


产品描述

设备名称:干法蚀刻设备
商品编号:T00511
制造商:CANON ANELVA
型号:ILD-4015
年份:1991年9月
ウェハーサイズ:φ6"
チャンバー仕様:ALエッチャー、AUTO LOADER(ROBOT)、LOAD LOCK
プラズマ電源:RF電源(2.4KW)
メインポンプ:ターボポンプ

在线留言

提交留言