产品描述
新设备：无盒自动清洗装置、制造商：SANEI中聚科芯
无盒式自动清洗装置是只保持晶片进行清洗的装置。可支持300mm。
规格：
1、晶片尺寸：～φ300m/m
2、HEPA或ULPA：内置过滤器
3、机器人：伺服电动机
4、药液槽：摇动、超声波清洗、MEGASONIC
5、冲洗槽：设置鼓泡、QDR、电阻率计
6、干燥：S/D.IPA V/D.提升
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