产品描述
设备名称：晶圆传送设备
商品编码：FB0272
型号：triton-EFEM
制造商：YDK
类别：半导体
规格参数：
1、晶圆尺寸200mm(8")
2、W1855×D1155×H2290mm机器人JEL4轴圆柱坐标型清洁机器人
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