产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L40523
型号：SME-200E
制造商：ULVAC
年份：2006年
特点：
1、可输送Φ200mm基板
2、作为流程室，我们提供各种模块
3、电介质用模块
4、高温成膜模块
5、精密分配模块
6、蚀刻模块
用途：
1、电子元件
2、MEMS
3、电源设备
4、LED
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