产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号: L40639
制造商：CANON ANELVA
型号：I-1060SVⅡ PLUS1
年份：2000年 4月
機械仕様：φ125mm仕様 3φ200V 150A L2 セラミック輻射型 200～300℃ L3 セラミックガス加熱 250～330℃ R3 セラミックガス加熱 350～500℃ R1 ランプ輻射型。
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