产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L70640
制造商：CANON ANELVA
型号：C-7010
年份：2008年
機械仕様：
1、枚葉式1C2T 4インチx2枚12段
2、マグネットカソード 4基搭載
3、DC電源2.5KW RF電源1,2KW
4、3φ200V 100 50/60Hz
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