产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L70639
制造商：CANON ANELVA
型号：E-402S
年份：2008年11月
规格参数:
1、スパッタダウン方式
2、4インチ 5枚トレイ仕様 カセット5段
3、自動成膜 最大φ220mm
4、静止対向成膜 最大 φ100mm
5、φ4型マグネットカソード 4基搭載
6、RF2元同時スパッタリング可能
7、SP2室 DC電源→RF電源に改造
8、基板-電極間距離変更(50mm～150mm)可能(モーター駆動)
9、基板加熱最高温度 300°
10、3φ200V±10％ 100A 50/60Hz
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