产品描述
设备名称：溅射设备（PVD）
商品编号: F42710
制造商：CANON ANELVA
型号：C-3103
制造日期：1996年
機械仕様：ターゲットサイズ:6インチ、 ターゲット数:8 スパッタ用電源:RF/DC電源 装置サイズ:W2880D1550H2150 EVP-30458 要現物確認
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