产品描述
新设备：激光烧蚀设备：日本制造商
摘要：所谓激光消融法，激光消融法是指将脉冲激光照射到固体靶上，将放出的原子、分子、离子堆积在基板上形成薄膜的成膜法。研究内容，根据使用的状况，设计制作。
构成：成膜室、试样交换室、闸阀（成膜室-试样交换室间）、成膜室用真空计、试样交换室用真空计、成膜室用排气系统、试样交换室用排气系统、基板加热驱动机构
目标驱动机构、激光、架台
规格：
成膜室：到达真空度：1×10-6Pa以下，表面处理：电解研磨（内面镜面研磨后）
排气系统：涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气配管部件
样品交换室：到达真空度：1×10-4Pa以下，表面处理：电解研磨（内面镜面研磨后）
排气系统：涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气配管部件
选配：电子枪、基板加热驱动机构、手套箱、手套箱交接机构、基板温度测量用温度计、离子泵
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