产品描述
设备名称：物理气相沉积 (PVD )
商品编号：T00438
制造商：应用材料（AMAT）
型号：Producer GT
年份：2012年
晶圆尺寸：300mm
CVD：Producer-GT：
1、Configuration、FI Type AMAT FI5.4、FI Robot KAWASAKI 2 Track Robot、FI Robot Controller KAWASAKI、Load port 4 port、Metrology NA
UPS Powerware 5115 0190-26019、Connecport TS 16 0190-27952、TCS 0190-27952、FES 0090-06937、FIS 0090-06936 CGA Server
2、Mainframe Configuration： Process Chamber、Chamber-A: LT-PSiN、Chamber-B: LT-PSiN、Chamber-C: NA、 Local Center Finder Yes、 Xfer Robot Blade FX Dual Deck Ceramic
3、Chamber Configuration：Chamber-A & B、Heater: Unknown、Lid: Single Source w/RF Cap、Blocker Plate: Unknown、Face Plate: Unknown、Manometer: 20/1000 Torr/ 50Torr Trip、RF Generator 1: APEX3000 *Ch-B RF Generator x2set missing、RF Generator 2: NA、RPS: Dual(FI20620-1) *Ch-A RPS x2set missing、DPA: NA
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