产品描述
设备名称：电阻加热沉积设备
商品编号：HC0056
制造商：ULVAC
型号：BC6079
年份：2002年
设备尺寸(W × L × H)：2,200 × 1,000 × 1,600 / 580 × 900 × 1,850mm
仕様：機械仕様
1、電源電圧：AC200v 30A
2、ワークサイズ：φ64
3、試料室：φ250 H460
4、準備室：□165 H450
5、るつぼ容量 1cc ロータリーポンプ：GVD-101 2台
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