产品描述
美国FEI公司的Inspect S50扫描电子显微镜(SEM)是一款高性能的低真空SEM平台,具有以下特点和规格
:
高分辨率能力:Inspect S50使用热发射电子光学,能够提供高分辨率的成像能力。
低真空设置:特别适合于非导电和重污染材料的检查和特性分析,同时最小化了样品准备的复杂性,实现了无电荷成像和分析。
高真空分辨率:显著的高真空分辨率增强了系统的灵活性,使其能够与多种样品类型和广泛的通量范围一起工作。
操作简便:直观、简便易用软件,即使电镜新手也能轻易上手。
分析能力:能够对导电和非导电样品进行准确的EDS和EBSD分析。
高亮度FEG:可选的束流减速模式,可以从导电样品中获得表面和组成信息。
技术规格:
电子光学:高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪,固定式物镜光阑,45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统。
加速电压:200 V - 30 kV。
束流:最大2 μA并连续可调。
放大倍数:13 x – 1,000,000 x。
分辨率:
高真空下30 kV时,二次电子(SE)为3.0 nm,背散射电子(BSE)为4.0 nm。
低真空下30 kV时,SE为3.0 nm,BSE为4.0 nm。
3 kV时SE为8.0 nm(高真空),低真空下为10 nm。
检测器:包括E-T二次电子探头、大视场低真空气体二次电子探头(LFD)、高灵敏度、低电压固体背散射探头等。
安装要求:电源电压230 V,耗电量< 3.0 kVA,主机重量约450 kg

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