产品描述
新设备：芯片裂纹检测装置 SM30mini 制造商：SoftWorks
简介：トレイ上又はテープ上に配置されたチップ外周のクラックや欠けをマクロ視野で観察可能。スーパーマクロ光学系と、ハイビジョンカメラの、組み合わせによって微小なクラックや浅い剥離など顕微鏡観察では見えにくい、不良をコントラスト良く観察する事が出来ます。スーパーマクロ光学系ではクラックの線幅が実際よりも大きく見えるので、視野が広く短時間でチップ全体を観察する事が可能です。低価格、７５万円～、オプションで、ＰＣによる自動検査も用意しておりましす。
装置構成例：
1、スーパーマクロ光学系(SM-30) 標準視野サイズ約6.5mm × 5.0mm
2、1/3インチ ハイビジョンカメラ 1280×720モノクロ又は、カラー HDMI出力 60Hz
3、ＣＣＴＶレンズ f=75mm又は50mmから選択
4、ＬＥＤ照明及び電源
5、モニター カメラスタンド 選択可
アプリケーション：
1、 ウエハーチップの外周クラック検査
2、ウエハーチップの面内検査と評価
3、 ウエハーチップのＢＧ研磨痕の評価
4、 ウエハーチップの表面ピット、ピンホール検査
5、 ウエハーチップの外形、外観検査
6、 ウエハーチップのダイシングによる残留応力の可視
7、ウエハーチップでその他、外観検査全般
8、 オプションで、自動外観検査（インライン対応）
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