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蒸汽2流体清洗装置

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：蒸汽2流体清洗装置、制造商：日本制造商
简介：“ASTE”是一种蒸汽二流体清洗装置，可以去除蚀刻后的polyma，去除晶圆上的异物（更换刷洗机），不会造成金属污染。由于可以同时去除聚合物和抗蚀剂，而无需使用昂贵的化学溶液，例如胺类脱模剂，因此可以预期显着降低成本。由于原料是“水”，因此是一种环保清洁设备。
产品信息：半导体清洗设备 | ASTE的基本信息
1、特征：降低成本（减少化学品）、减少工序数、减轻环境负荷
2、基本配置：无金属污染的蒸汽发生器、超音速蒸汽喷嘴、阿基米德控制法、前端模块（输送系统）、控制系统、蒸汽・超纯水・气体控制系统
排气・排水系统。
3、规格：室数：2室
晶圆直径：兼容 150,200,300mm
卡带数量：2卡带
电源：超纯水、N2、CDA（驱动用）、AC200V、100A
蒸汽压力控制范围：0.05-0.3MPa
主体外形尺寸：1100（W）× 1800（D）× 2000（H）
应用/实际示例：【目标应用】、蚀刻后的聚合物去除、晶片上的异物去除（刷洗器的更换）、剥离、粘合剂去除