产品描述
设备名称：薄膜分析仪
商品编号：T00460
制造商：n&k Technology
型号：3300
年份：2003年3月
晶圆尺寸：8寸/12寸
薄膜分析仪 3300：Configuration
1、Analyzer：N&K 1712CD
2、Transfer robot：Brooks automation reliance ART
3、Lamp UV Deuterium：Wave length: 190 – 1100nm、Ignition plus: DC 600V < 1sec、UV Deuterium、Voltage: DC 50 – 105V (Running)、UV Deuterium、Max Voltage: 320mA
4、VIS Tungsten：Voltage: DC 6V (Running)、VIS Tungsten、Current: 0.9A
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