产品描述
设备名称：薄膜沉积设备(EB)
商品编号：I70650
制造商：ULVAC
型号：EX-550-C12
年份：2000年5月
设备尺寸(W × D × H)：1,520 × 877 × 1,762mm
设备重量：1,000kg
操作面板(W × D × H)：570 × 839 × 1,842mm
电源(W × D × H)：570 × 700 × 1,200mm
機械仕様：電源:3相200V 60Hz 19.5KVA 56.3A 圧力上昇5.0E-6Pa・m3/s 回転特性5~12r/min 最高加熱温度350℃
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