产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

首页

薄膜沉积设备

所属分类：

二手设备仪器

关键词：

联系我们

在线留言

产品描述

设备名称：薄膜沉积设备
商品编号：L90351
制造商：VACUUM DEVICE
型号：VE-2030
年份：2004年2月
VE-2030设备尺寸(W × L × H)：500 × 574 × 1,073mm
VE-2030设备重量：约80kg
機械特徴・仕様：特徴
1、真空排気系は冷却水不要の 67L/sec TMP+50L/min RP と全電磁バルブよりなる全自動排気系です。液体窒素トラップ無しで 10-5Pa の超高真空領域に入ります。
2、TMP 排気系は始動,停止時の過熱・冷却時間が不用です。試料をセットしスイッチ ON で高真空排気に入り、作業終了後はスイッチ OFF で停止作業終了。
3、TEM や SEM の絞り類のベーキングも短時間で完了し、時間の節約になります。
4、メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。
5、カーボンコーティングも丈夫で緻密な蒸着膜になります。カーボン補強や支持膜作成に効果を発揮します。
6、停電時は全バルブが自動で閉じ、真空が保持されます。ロータリポンプのみ自動的にエアリークされます。停電が回復したら EVAC START のみで停電前の状態に復帰します。
7、入力スイッチはサーキットプロテクタです。装置内の電気回路に異常が発生すると自動的に OFF になります。
仕様：
1、真空槽：内径200mm×高さ 270mm、下部110mmは金属製、上部160mmは硬質ガラス製。金属部に内径55mmのサービスポートを設置。
2、試料ステージ：直径 60mm 水平試料台(標準装着)。モーター駆動、回転・傾斜試料台はオプション。
3、加熱用電極柱：2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。、絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。、チャンバー大気解放時、感電防止の為のインターロックＳＷ付。
4、ヒータ電源：AC15V,50A。サイリスタ制御、電流計指示。
5、蒸着可能面積：柱利用、上からの蒸着時＝直径 100mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで。
6、真空排気系統：TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min)
7、真空度測定：フルレンジ真空計(標準装備)
8、到達真空度：5×10-4Pa 以下。
9、安全対策：停電時；全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。停電回復時；真空系統は停止状態を保持。EVACSTART で停電前の状態に復帰。回路内過電流対策；15A 超でサーキットプロテクタ作動、入力断。PR 回路、真空排気系統、電極柱系電源回路別に溶断入力フューズ採用。
10、入力電源：AC100V,15A(単相)。
11、装置サイズ：幅 500mm×奥行き 574mm×高さ 1073mm。重量=80kg(4 輪ストッパー付キャスター装備)。
オプション：VE-2030 には多彩なオプションが用意されています。
1、ＣＥ-01形クランプ電極銃：シャーペンの替え芯専用のカーボン蒸着電極です。ベルジャー内の汚れを最小限にする汚れ防止カップ付属。
2、モーター駆動ジンバル試料台:SEM 試料のメタルコーティングに使用します。
3、電子銃加熱蒸着ユニット:金や銀、アルミニウムなどの、比較的厚い蒸着膜作成に利用します。
4、サーモモジュール冷却試料台:5℃～50℃まで温度調整ができます。（本体への改造が必要です。）
5、加熱試料台:500℃まで加熱・温調できる試料台です。（本体への改造が必要です。）
6、膜厚モニター:水晶発振式膜厚測定装置が装着できます。（水冷循環装置も同時にご購入下さい。）
7、ロングベルジャー・ＩＣＦポート追加・基盤ホルダ・２源蒸着電極・電源ＢＯＸなど。