产品描述
设备名称：蚀刻装置
商品编号：I70528
制造商：Tokyo Ohka Kogyo
型号：TCE-3822
制造日期：2011年
机械规格： 系列 T-1109732 、电源：三相 200V 125A 60Hz 1/2、蚀刻装置主体 Φ125 兼容晶圆 2 个石英室 2/2：控制架 KYOSAN 匹配控制器。
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