产品描述
新设备:退火装置;制造商:日本制造商
退火装置特点:可用于从硅片到玻璃基板、面板、零件、材料等各种物品的退火处理。从分批式到内联式提出各种真空退火装置的建议。从100℃左右的低温到900℃以上的高温对应的退火装置齐全。也可支持气体置换型(Ar、N2、Ar+N2)。可以自动进行抽真空、加热动作。在手套箱内进行预处理后,还备有进行退火处理的连续处理装置。
VB-1000简介:由圆形真空槽和低温泵排气系统组成。打开门将处理物搬入真空槽内部,用高真空加热进行脱气。
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