金属干蚀刻

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产品描述

设备名称:金属干蚀刻
商品编号:FB0603
型号:E620I
制造商:Panasonic
类别:半导体
年份:2013年
规格参数:
1、电源:30~50/60Hz(满负荷)
2、供气压力:max less than 0.7MPa
3、工作气压和消耗量:0.5MPa 40L/min(A.N.R.) kA
4、外形尺寸:W500 × D550 × H400

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