产品描述
新设备:镜片检查装置;制造商:日本制造商
简介:本装置能高速高精度地进行镜片的外观检查和形状检查。形状用2照相机的立体法测量透镜表面的高度分布。镜头内部的图案也可以检查。光源使用线激光,从侧面拍摄来自镜头的光,在外观检查中进行异物气泡等的检测以及直径和位置偏差等的检查。
装置构成例:构成、电动XY载物台、样品基板吸附架台、墨水标记、光学系统安装架台、图像处理用电脑、Lan图像输入板、马达控制器板、LCD显示器。
装置规格:
1、相机:500万像素CMOS相机×2台
2、相机:3D用320万像素CMOS相机
3、LED照明:环、同轴、杆、面、光点
4、各种检查用CCTV镜头:(形状测定图像部一例)
5、视野尺寸:约11mm× 11mm
6、像素分辨率:约10μ/像素
7、工作距离:约104mm
8、相机倾角:约45°
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