产品描述
新设备：阳极接合装置：制造商：日本制造商
在Si上接合派雷克斯等玻璃。是MEMS的接合中使用最多的接合之一。最近也实现了低温接合。
AB-60DL简介：采用多品种小批量生产对应，升降温速率快的本公司独有的加热机构，并考虑到对基板的温度影响的试制机。标准配备了高真空排气。
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