产品描述
新设备:霍尔效应测量装置(AC/DC低温型),制造商:日本制造商
概要:半导体样品的基础物理性评价装置。设置样品,通过附属PC的操作进行控制,显示电阻率、进位类型进位浓度、迁移率的运算结果。因为是通过弹簧板探测来确保电接触的方式,所以不需要钢丝本田。可以在AC测量和低温(90K)下进行测量。根据研究内容和使用情况进行设计制作。
装置构成及规格:
测量单元:霍尔效应测量方法:根据Van der Pauw法,测量(标准)交流磁场的AC测量(可选),样品施加电压:±100V以下,最高分辨率:1nV(在10mV输入范围内),电压计输入阻抗:10GΩ以上,电阻测量范围:10-5Ω~10-6Ω(标准)(高电阻选项有),※测量对象的膜厚为1μm左右的情况下,霍尔迁移率可计算范围:10-2~106cm/V/s,※单士官电阻值不满105Ω的情况下,测量方法:来自控制用PC的自动执行及显示。
电磁铁:
最大磁场强度:±0.4T以上
磁场均匀性:中心位置φ7(mm)±1%以内
冰箱:
温度范围:90K~室温(标准)(有高温/低温选项)
温度稳定性:±0.1K以内
其他
样品形状:□5mm(其他尺寸也可对应)
所需电力:100V/20A×1系统及200V/50A×一个系统
控制:通过PC控制设置样品后自动测量(施加电流/电压、电流/电压测量、磁场、温度自动控制)
运算处理:根据测定结果,电阻率、载波类型、载波浓度、迁移率、自动运算等:自动确认欧米克特性,通过控制程序自动调整测量时间常数,将测量后的所有数据以文本形式保存。
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