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高温洁净烘箱

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：高温洁净烘箱、制造商：日本制造商
简介：采用耐热高性能过滤器和独立冷却器，可在清洁环境下进行高温烘烤。通过热空气循环方法高精度地处理晶片、玻璃基板烘烤老化、聚亚胺文档和退火。
特长：耐热高性能过滤器和本公司独自的冷却器的搭载高温烘烤可能温度稳定时槽内等级100能维持热风流，前面吹出型水平循环(V型)和侧流型(Ⅲ型)，高热效率和良好的温度均匀性，实现半导体晶片，玻璃基板的烘焙，最适合要求老化等高精度处理的用途
通过将惰性气体引入到罐中，也可以将其用作惰性气体烘箱。
主要用途：半导体晶片、玻璃基板的固化/老化等
可选：氧气浓度计/信号塔/冷阱/紧急停止电路/泄漏检测器
在热风流动方向上，准备侧面吹出方式的Ⅲ型和前面吹出方式的V型两种。它是一种清洁烤箱，配备耐热高性能过滤器和专有冷却器，可进行高达530°C(V型高达500°C)的高温处理。热空气循环具有良好的温度均匀性和100级(温度稳定)空气洁净度，非常适合需要高温和高精度处理的应用，如半导体晶片、玻璃基板烘烤和老化。通过将氮(N2)气体导入槽内，也可以在20ppm以下的残留氧浓度下使用。