高温淬火退火设备(RTA炉)

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产品描述

新设备:高温淬火退火设备(RTA炉);制造商:日本制造商
概述:在传统的(Kyropoulos)方法中,我们增加了CZ方法培养的拉拔技术,这是一种培育大型晶体的设备。通过采用使用碳加热器的电阻加热方法,与金属加热器相比,可以显着降低电力成本和耗材成本。
规格:
加热方式:2区碳加热器电阻加热方式
加热温度:最高2200℃
填充:120kg
炉法:真空水冷套室
加热器输出:主加热器100kw、底部加热器50kW
控制方法:PLC控制(培养程序、炉内气氛)

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