产品描述
品牌 / Brand: Applied Materials (AMAT/AKT)
型号 / Model: AKT-1600 PECVD GEN 2 & 2.5
数量 / Quantity: 1
品类 / Category: 半导体设备 / Semiconductor equipment (PECVD)
规格 / Specs: 2005年；二手；PECVD 膜层 SiN、SiO2、i-a-Si、SiON、N+ a-Si；软件 AKT7.3；电源 208 VAC 三相；基板 320×352 mm；5个工艺腔；含冷水机；远程等离子清洗 / Year 2005; used; PECVD films SiN, SiO2, i-a-Si, SiON, N+ a-Si; software AKT7.3; power 208 VAC three-phase; substrate 320×352 mm; 5 process chambers; includes chiller; remote plasma clean
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