产品描述
Brand：中紫外步进式光刻机
商品编号：T00915
型号：NSR-SF130
制造商：尼康（Nikon）
生产日期：2005-06-30
NSR-SF130：
分辨率： ≦ 280 nm
NA：0.62
曝光光源： i-line (365 nm 波长)
减速比：1:4
曝光范围： 26 × 33 mm
对准精度：≦35nm
产量：≧120片/小时（300mm晶圆）、≧120片/小时（200mm晶圆）（二手设备）
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