产品描述
新设备:供给设备、制造商:日本制造商
配合使用的药品类:材质选定和定制
所谓浆料·药液供给装置,可以连续供给配制成任意设定浓度的液体。
另外,通过与必要的供给目的地的装置联动、控制,可以实现自动运转,所以也可以在必要时只供给运转所需的量。
在调合液消失的情况下,自动调配,所以在自动运转时不停止供给液就可以进行连续运转。特别是我们的经验表明,作为半导体相关晶片加工用CMP装置的供给系统,我们提出了最合适的装置。
另外,根据所使用的药品类(酸、碱、浆料等)选择材质(氯乙烯制、特氟隆等),根据客户的要求进行定制。
尺寸自不必说,调合槽和架子等的设置位置,淋浴喷嘴,触摸屏的程序控制等液种的排水切换,内部环境的排气等也能对应。
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