产品描述
新设备设备名称:12英寸 晶圆盒转换设备、制造商:菲科(PHT)
简介:该设备是一种用标准晶圆盒替换存储在指定盒中的200mm・300mm切割框架的系统。使用的晶圆盒有、6片盒・13片盒。每个晶圆盒都由操作员提供给站台。
设备规格:加工材料
1、切块框:
尺寸:200mm・300mm
厚度:1.22 ± 0.08mm
翘曲:0.25mm以下
可接触范围:背面
2、晶圆盒:
标准卡盒:6片盒・13片盒
框架存储间距:15mm
3、运行时效
节拍时间・运输时间:180秒/13片以内
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