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全自动AFM测量装置

简介：成为可全自动全数测量的AFM测量装置。

所属分类：

二手设备仪器

关键词：

全自动AFM测量装置

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产品描述

新设备：全自动AFM测量装置制造商：日本制造商
简介：成为可全自动全数测量的AFM测量装置。
如果把测量工件安装在盒式磁带上，就可以全自动测量指定场所。
到现在为止的装置，非常高价，装置也大，处理困难，不过，实现了小型低价格。探针也使用碳纳米管，交换频率也是以前的1/100。（参照附件）测量样品尺寸也按标准φ虽然是300mm，但也支持FPD等大型基板。盒式磁带数量也可以根据您的要求进行无尘室对应。纳米级表面粗糙度、深度22μ可以测量到m的台阶。也可以选择不接触样品面的边缘夹紧式。
装置规格：AFM测头部；搬运机器人部（一例）
1、扫描头：广域扫描型；被搬送物：最大φ150mm晶片
2、最大扫描范围：110μm（±１０％）；动作范围：机械臂行程（R轴）240mm
3、最大Z范围：22μm（±１０％）；旋转角度（θ轴）：340度
4、Z向分辨率：0.0013nm*1；上下行程（Z轴）：200mm
5、XY方向分辨率：0.0065nm*1；搬运速度：R轴240mm/0.8secθ轴180度/0.8sec、Z轴200mm/0.8sec
6、非线性：<0.6%；舞台部：自动X轴、Y轴、Z轴
7、Z噪声电平：350pm
应用程序：
1、SIC、Gan的Ra测量
2、蓝宝石基板或硅基板的Ra测定
3、图案的倾斜、宽度、高度测量
4、工件表面划伤深度测量
5、抗蚀剂高度和宽度的测定
6、掩模图案连续性的测定
7、其他微小、超精密测量