产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

首页

兼容曝光机

所属分类：

二手设备仪器

关键词：

联系我们

在线留言

产品描述

新设备：Ø200mm 兼容曝光机 MA-4301M；制造商：日本制造商
简介：
主要特长：搭载本公司独创的镜面光学系统爆光灯房（LAMP HOUSE）。从而实现了照射面内的均匀性以及高照度。、采用本公司独创的同轴对位方式和高速图像处理技术, 从而实现了高精度对位。还支持IR方式和背面方式。通过本公司独创的光学式间隙传感器，可在非接触状态下高速、精确的设定掩膜和基板间的近接间隙。搭载有掩膜更换机。最多可自动更换20张掩膜。、最多可搭载3台片仓（Load port）。
主要规格：
1、Wafer尺寸：Ø300ｍｍ
2、对位：非接触预对位～自动对位
3、光源：超高压水银灯：3.5kW
4、本体尺寸：W 2450 × D 2400 × H 2300 mm