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热场式场发射扫描电镜

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

设备名称：热场式场发射扫描电镜
商品编号：T00432
制造商：日立（HITACHI）
型号：SU5000
年份：2015年
热场式场发射扫描电镜：特点
1、高性能电子光学系统:二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)、高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像、大束流(>200 nA): 便于2、高效微区分析：性能优异、压力可变: 具有优异的低真空(10 - 300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)、开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)、微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
规格：项目、内容
1、分辨率：1.2 nm @ 30 kV、3.0 nm @ 1 kV、2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1、3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
2、放大倍率：10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000 × (800 × 600 像
电子光学系统：电子枪、ZrO/W 肖特基式电子枪
1、加速电压：0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
2、着陆电压：减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
3、最大束流：> 200 nA
4、探测器：低位二次电子探测器
5、低真空模式*2：真空范围: 10 - 300 Pa
6、马达台控制：5 - 轴自动 (优中心)
7、可动范围：X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：3～65mm、T：-20～90°、R：360°
8、最大样品尺寸：最大直径：200 mm
9、最大高度：80 mm
10、选配探测器 • 高分辨率顶位二次电子探测器*1：高灵敏度低真空探测器 (UVD)、 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3、能谱仪 (EDS)、波谱仪 (WDS)、背散射电子衍射探测器 (EBSD)