产品描述
设备名称：干式真空泵
型号：SDL20E50
制造商：KASHIYAMA
年份：2013年12月
类别：半导体
规格参数：
1、最大排气速度[L/min] *150000
2、极限压力[Pa] *10.8
3、电源电压(50/60Hz)3相 AC200～220V, 380～480V
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