产品描述
设备名称：干蚀刻设备 RIEEtcher
商品编号:：F31346
制造商：CANON ANELVA
型号：DEA-506 O/H
年份：1992年3月
機械仕様：RF電源 アネルバ PRF-153B 周波数 50/60HZ 高周波出力 最大1.0KW 周波数 13.56MHZ 本体(1/2) RFジェネレーター(2/2) EVP-16010、EVP-0302A
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