产品描述
商品编号:T00924
型号:PRODUCER GT
制造商:应用材料(AMAT)
生产日期:2008
设备清单:
EFEM:1台
装载端口:1台
PC:服务器类型:1台
川崎机器人2ea & 川崎控制器 1ea(川崎机器人:3NX510B-D001,川崎控制器:30D61I-A003):1台
变压器:1台
机器人:Brooks Mag8 (0190-25011):1台
机械臂:1台
TM 控制箱:1台
RPS 3L(FI80133):3台
射频发生器(APEX 3013):3台
加热器:3台
分庭:3台
气体配置:1台
NF3 1000sccm:1台
NF3 1000sccm:1台
Ar 5000sccm:1台
O2 15000sccm:2台
C3H6 3000sccm:1台
He 5000sccm:1台
He 15000sccm:1台
N2 15000sccm:1台
Ar 15000sccm:1台(二手设备)
备注:电源箱缺失3台
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