产品描述
新设备：投影曝光设备： 制造商：日本制造商
简介：独自開発した高NA投影光学を搭載した、等倍投影露光装置、厚膜レジストにも対応可能。ウエハ、FPC等の用途により搬送システムの提案可能
用途：MEMS LED 水晶 FPC等
仕様：最大6インチ、アライメント精度±1μ、※オプションでバックサイドアライメントの対応可能
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