产品描述
Brand：步进式光刻机
商品编号：T00913
型号：FPA-5500iZ+
制造商：佳能（Canon）
生产日期：2004-07
机器重量：约11,690kg
分拣装置：制造商、型号、QT'Y、备注
主体：主体照明系统佳能FPA-5500iZ+1
十字线预设：1
晶圆阶段：1
OAS第一单元
Booth1级空气控制：1
Booth2十字线库：1
十字线处理器：1手柄1/索引器
晶圆处理器：1手柄1/2
机房控制板：1
C-机架：1
灯箱：1
温度控制器面板：1
紧凑型腔室：RASCO TBW-CD160 1序列号：CD16045R111
上层Foup单元：TDK TAS300 1 MFGNO子模块：02TE31430
下层PP盒佳能：FPA-5500iZ+1
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