产品描述
设备名称：步阶器
型号：FPA-2000i1
制造商：Canon
类别：半导体
规格参数：
1、步阶器6英寸
2、晶圆类型半平面
3、硅片夹头LC环形卡盘
4、轨道接口DNS
5、自动进纸器（在线方向）左侧，类型2
6、光罩更换器：光罩尺寸5英寸，类型2，带14个插槽、库插槽号14
7、工作站：工作站型号 HP1000
8、软件：主软件版本、V5.25B；Gem软件版本：SECS
9、（1）设施要求：主电源 3相，415 VAC；（2）CDA供应量：3×100psi；（3）冷却水供应：:冷却水入水（压力=1至5kg/cm²）；（4）真空度：3X真空度设定≤550mm Hg；（5）排气：1×腔室排热、2×控制机架。
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