产品描述
设备名称：溅射装置（CtoC）单晶片型
商品编号：HB1176
型号：C-7960FL
制造商：CANON ANELVA
类别：半导体
年份：1998年
规格参数：
1、目标尺寸φ318×4t
2、目标数量4
3、基板尺寸6英寸
4、基板可安装张数7
5、飞溅电源RF电源5kw
6、该设备是单晶圆自动镀膜
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