产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：J30097
型号：SPF-730
制造商：CANON ANELVA
类别：半导体
规格参数：
1、目标尺寸φ180
2、目标数量3
3、基板尺寸φ500
4、基板可安装张数100
5、设备尺寸W1500×D1500×H1
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