产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L40597
制造商：CANON ANELVA
型号：SPF-430H改造
年份：2004年1月
機械仕様：
1、装置構成インターバック式
2、基盤サイズ4インチ
3、搬送方式300mmトレー4インチ×6枚
4、スパッタ方式ダウンスパッタ 前処理エッチング機構有り
5、φ4型プレーナー・マグネット・カソード3基搭載
6、スパッタ電源1.5KW
7、基板加熱最高温度300℃
8、3φ200V±10％ 100A 50Hz
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