产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：I70656
制造商：CANON ANELVA
型号：SPC-540H
年份：1983年2月
设备尺寸(W × D × H)：1,800 × 1,200 × 2,200mm
设备重量：约1,200kg
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：長方形 約110mm×365mm
2、ターゲット数：3
3、基板サイズ：φ3インチ
4、基板取付可能枚数：4枚×12面
5、スパッタ用電源：RF電源
6、基板加熱性能：加熱性能有り(最高温度不明)
7、電源：3相200V 75A 60Hz
8、RF電源：予備品(欠品有り)
9、クライオポンプCAP-121：水量本体 2Kgf/cm25L/min、カソード 3Kgf/cm215L/min、空圧 5Kgf/cm2
10、クライオコンプレッサー：CRC-420MkⅡ
11、制御盤：W600 × D1050 × H1850
12、RF電源 PRF-503：外寸 W570 × D700 × H1400
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