产品描述
设备名称:电子回路板清洁装置
商品编号: I40154
制造商:Hugle
型号:USG-206
制造日期:2011年10月
鼓风机尺寸(W × D × H):1200 × 815 × 794mm
鼓风机重量:约330kg
製品概要・仕様:製品概要
1、 独自の超音波エアー方式と、吐出、吸入のエアーバランス制御により、基板表面より剥離した粒子は、効果的に吸引チャンバーに吸い込まれ、周囲への飛散を防ぎます。
2、 非接触ですから製品表面を傷めません。
3、 乾式エアークリーナーですから、スループット向上に大幅な貢献が見られます。
4、 P,V エアーのバランス制御バルブにより、周囲へのエアー吹き漏れもシャットアウトします。 (特許)
5、 大型基板も対応可能です。
除塵性能:
1、1.6μm以上の微粒子を100%除去可能です
2、実験装置:弊社内クリーンルーム(クラス100)内搬送装置
3、除塵対象:液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜)
4、散布粒子:液晶用スペーサー(ミクロパール1.6・3・5・10μm)、ガラス粉塵
5、ヘッド吐出圧力:13kPa
6、基板ギャップ:1.5mm
7、搬送速度:100・200mmc
8、評価機器:CCDカメラ
断面構造:
1、クリーニング基材上に付着しているさまざまな異物は、静電気によるものも少なくありません。除電器 (イオナイザー) メーカーでもある弊社は、クリーナーの性能をより有効にご活用いただくため、 クリーニング前に除電を行うシステムをご提案しております。
2、ヘッド流れ方向:200 mm
3、ヘッド騒音値:69 ~ 71 dB
4、ブロワー騒音値:75 ~ 76 dB
5、ヘッド部温度:50 ~ 55 ℃
6、ブロワー温度:70 ~ 75 ℃
7、ブロワーユニット寸法:1,200 mm (W) × 815 mm (D) × 794 mm (H)
8、ブロワーユニット重量:約 330 kg
9、消費電力:6.2 KW
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