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电子束蒸镀装置

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：电子束蒸镀装置、制造商：日本制造商
概览：腔室尺寸及端口数、法兰规格、表面处理、排气系统等可根据需要制作。
电子枪最多可填充6种样品。可以连接到各种设备。
装置结构：成膜室、EB电子枪、主阀、成膜室用真空计、成膜室用排气系统、台架
仕様：成膜室、
到達真空度：1.0×10-4Pa以下
表面処理：電解研磨(内面鏡面研磨後)
排气系统：涡轮分子泵+旋转泵辅助阀，排气管道配件
可选：基板加热和旋转驱动机构
電子銃
電子銃：2kw3連E型電子銃
電源：2Kw