产品描述
设备名称：等离子CVD设备
商品编号 : 1CVDsam-pd--Q8469
制造商：samco
型号：PD-220
年份：2001年
仕様: Si系薄膜の堆積 基板加熱：～350℃ RF出力：～300W 対応試料：2”Φ×7，3”Φ×4，4”Φ×3，6”Φ×1，8”Φ×1
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