溅射装置(CtoC)单晶片型

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产品描述

设备名称:溅射装置(CtoC)单晶片型
商品编号: C-7960FL
制造商:CANON ANELVA
年份:1998年
装置尺寸(W × D × H):2,300 × 1,500 × 2,350mm
 Wafer size: 150mm
规格:
1、目标尺寸:φ318×4t 
2、目标数量:4
3、基板尺寸:6英寸
4、基板可安装张数:7
5、飞溅电源:RF电源5kw

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