产品描述
设备名称：薄膜沉积设备
商品编号: F31220
制造商：ULVAC
型号：EBX-8C
制造日期：1982年
機械仕様：真空槽W500D500H650 材質SUS303 膜厚コントローラー:CRTM9000 所要電力 11KVA 三相 50/60HZ 55A 200VAC 所要冷却水 装置 8L/min. 蒸
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