产品描述
新设备：高浓度臭氧水清洗装置、制造商：日本制造商
简介：“AURORA”是一种抗蚀剂剥离装置，可以在低温下离子注入后剥离抗蚀剂。通过等离子处理（去除硬化层）和臭氧水处理（抗蚀剂剥离）相结合，可以无残留地剥离，也可以在不损坏底层薄膜（Si、SiO2等）的情况下剥离。此外，通过取消硫酸过氧化氢和氨过氧化氢等化学溶液，消除了运行成本和工序数量。可以通过快速去除速率（2-4 μm / min）实现高通量。
产品信息：低温抗蚀剂剥离装置 | AURORA 基本信息
特征：剥离性能、降低成本、减少工序数、减少安装面积
基本配置：搬运机器人、等离子处理设备、臭氧水处理设备、高浓度臭氧水发生器、加热装置
规格：
腔室数量：2 个腔室（1 个用于等离子体处理的腔室，1 个用于臭氧水的腔室）
晶圆直径：兼容 150、200、300mm
卡带数量：2 卡带
动力：DIW、N2、O2、CO2、CDA
主体外形尺寸：1100（W）× 2050（D）× 2000（H）
应用/实际示例:【目标应用】、离子注入后抗蚀剂剥离
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