高精度3D线材视觉检测设备

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产品描述

新设备:高精度3D线材视觉检测设备、制造商:日本制造商
简介:该设备使用高速高分辨率相机和显微镜通过镜头聚焦方法测量引线键合的三维形状。与传统的显微镜视觉测量相比,可以在短时间内实现压倒性的高精度和高再现性。
装置构成例:(机械部)、高速XYZ移动载物台、样品架、光学架、(图像处理部)、1200万像素高速CMOS照相机、显微镜筒、LED点照明、USB控制照明电源、USB控制照明电源、图像处理用个人计算机、FullCameraLink图像输入板、LCD显示器。
装置仕様:
视野尺寸:约3.38 mm×3.38 mm
画素分解能:約1.1μ/画素
撮像速度:65Hz(MAX)
检查时间1秒/视野:(Z轴步骤数为50时)
检查项目线形状(弯曲、断裂等)、线环(高度)接合形状、接合位置

粘结直径(近似椭圆的长短直径或XY直径)
粘结厚度(高精度测量需要20×物镜)
检测再现精度环路高度±2µ以内(标准偏差)
球径:±1µ以内(标准偏差)
键合位置:±1µ以内(标准偏差)
最大连续检查量64芯片(相同芯片)1000丝

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